激光共聚焦三维表面形貌仪采用正置分体式结构，测量头和载物台可以分离，采用白光干涉和共聚焦双模式工作，可一键切换，适应多种类型的测试样本。配备5×、10×、20×、50×物镜，Z方向测量重复精度最高30nm，XY方向测量重复精度最高65nm。XY方向载物台行程150×150mm，可适用大型样品的自动扫描。可用于各种粗糙或高度抛光后表面的三维形貌扫描重建和参数分析，尤其适用于需要提高表面物像对比度、优化成像像质的材料的表面观察。